【經濟日報╱鄭秋蘋(工研院IEK/ITIS計畫產業分析師)】 2008.09.20
一、前言
Samsung為全球第二大半導體廠,也是韓國國內重要企業集團之一。Samsung對於國際重視的環境保護及回應地球暖化的議題,堅持採用比法令更嚴格的汙染標準,並實行多項節能減碳計劃,將企業對環境的影響程度降至最低,在水電的節約、回收利用,及PFC的氣體減量計畫實施,皆能使企業的生產效率提升及降低生產成本,並減少對環境的汙染,並提升能源的使用效率。
二、PFC減量策略及實績
Samsung在PFC的減量策略,則是設置POU Scrubber、PFC Total Scrubber和Acid House Scrubber層層過濾PFC氣體的排放及回收,以達到減量的目標。
以半導體廠的PFC排放量來說,每年皆呈現下降趨勢,2006年較2005年減少了34%的PFC排放,即減少160(ktc/y),而2005年 Samsung半導體的營收為17,838百萬美元,2006年營收增加為19,670百萬美元,由此可知PFC的減量並不影響營業收入,使企業銷售成長同時也降低PFC排放的雙贏目標。在未來規劃上,Samsung半導體仍持續降低PFC的排放,從2003年至2010年都將是呈現下降的趨勢,而 2010年減量的目標,則以1997年為基準,減少10%的排放量。
三、節水策略及實績
Samsung在節水的實施項目,主要分為製程用水減量及回收水量的提升,由製程中的技術改變,使用水量得以減少,如半導體廠後段封裝製程中,晶片接合 PCB的技術改為以錫膏接合,則可免去水洗洗淨的步驟,而省下每年約5,000噸的水。而回收水的再利用,可用於次級用水,如園藝、廁所等非飲用級的用水。
在節水方面,Samsung於2005年及2006年間因擴廠及產能的增加,使得用水量增加,但在水回收總量呈現增加的趨勢,於2006年比2005年更增加了857.3萬(m3/Year)的回收水量,而從回收比率來看,2004年至2006年的回收比率雖略微呈下降趨勢,但皆能維持在70%以上。
四、節能減碳策略及實行
節電的實行策略為空調的控制、增加能源使用率、製程的改善等措施。由冷凍空調設備的改善,及空調熱儲冰系統的運用,可使空調及能源使用率增加,達到節電的目的。在半導體封裝測試階段,以縮短預燒(burn-in)時間來達到節電的效果。另外在每個廠房設置熱交換器,以回收鍋爐產生的熱氣,使得水進入鍋爐後可減少加熱,進而減少電力使用。
五、節能減碳、節水及PFC減量的未來目標
Samsung對於未來節水的計劃及目標,為工業用水的回收使用最大化,並減少製程用水。在節電目標方面,為每年減少5%的電力消耗,並在製程技術的持續改善下,達到更高的節電成效。PFC的減量上,以1997年的排放量為基準,於2010年減少10%,並採用使地球暖化程度低的替代性氣體、改善製程效率及發展分解PFC的設備、回收PFC氣體等措施,以達到PFC減量的目標。
六、結語
參照本文所述,Samsung在半導體製程中的節能減碳措施,是我國半導體業及光電產業可學習仿效的對象。我國半導體產業及光電產業仍有節水節電及PFC 減量的空間,對於國際大廠Samsung的成功節能並同時達成企業獲利,也是我國產業需努力達成的目標。改善並加強節能減碳的實施,除了能獲得企業成本下降的效益外,同時於國際間亦能提升企業形象、和增加企業在綠色產品的競爭力。
【2008/09/20 經濟日報】
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